CARDENASFLECHAS, Leydi Julieta; MEJIA-VILLAGRAN, Claudia Patricia; RINCON-JOYA, Miryam    OLAYA-FLOREZ, Jhon Jairo. Synthesis of nanostructured (Ti-Zr-Si)N coatings deposited on Ti6A14V alloy. []. , 45, 175, pp.570-581.   16--2021. ISSN 0370-3908.  https://doi.org/10.18257/raccefyn.1198.

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TiZrSiN coatings have important applications as corrosion barriers and thermal stabilizers. The addition of Si in TiZrN films helps increase hardness and thermal stability of the base coat. In this work thin films of (Ti-Zr-Si)N were deposited on the Ti6Al4V alloy by the co-sputtering technique and using Ti5Si2 and Zr targets. The synthesis of the coatings was carried out by varying the discharge power in the Ti5 well as a variation in the deposit temperature at room temperature 130° and 260°C. The coatings were characterized by means of X-ray diffraction (XRD), evidencing the formation of the phase that belongs to the solid solution (Zr, Ti)N, scanning electron microscopy (SEM), UV-Vis spectroscopy and hardness and pin-on-disc tests. The thickness was measured through interferometry with values between 662 and 481nm for the deposited coatings. According to the failure mechanism in the scratch test, the best results were obtained with a power of 170W and 260°C with a cohesive failure Lc1 = 2.1N and an adhesive failure Lc2 = 4.7N.

Los recubrimientos de TiZrSiN tienen aplicaciones importantes como barreras contra la corrosión y estabilizadores térmicos. La adición de Si en las películas de TiZrN ayuda a aumentar la dureza y la estabilidad térmica del recubrimiento base. En este trabajo, películas delgadas de (Ti-Zr-Si)N fueron depositadas sobre la aleación de Ti6Al4V mediante la técnica de co-sputtering utilizando blancos de Ti5Si2 y Zr. La síntesis de los recubrimientos se realizó variando la potencia de descarga en la fuente RF encargada del blanco de Ti5Si2 a 130W, 150W y 170W, así como una variación en la temperatura de depósito a temperatura ambiente, 130° y 260°C. Los recubrimientos fueron caracterizados por medio de difracción de rayos X (XRD), donde se evidencia la formación de la fase que pertenece a la solución sólida (Zr,Ti)N, microscopía electrónica de barrido (SEM), espectroscopia UV-Vis y ensayos de dureza y pin-on-disc. El espesor fue medido a través de interferometría con valores entre 662 y 481nm para los recubrimientos depositados. De acuerdo con el mecanismo de falla en el ensayo de rayado, los mejores resultados obtenidos se dieron para una potencia de 170W y 260°C con una falla cohesiva L c1=2.1N y una falla adhesiva L c2=4.7N.

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