CARDENASFLECHAS, Leydi Julieta; MEJIA-VILLAGRAN, Claudia Patricia; RINCON-JOYA, Miryam    OLAYA-FLOREZ, Jhon Jairo. Síntesis de recubrimientos nanoestructurados de (Ti-Zr-Si)N depositados sobre aleación de Ti6A14V. []. , 45, 175, pp.570-581.   16--2021. ISSN 0370-3908.  https://doi.org/10.18257/raccefyn.1198.

Los recubrimientos de TiZrSiN tienen aplicaciones importantes como barreras contra la corrosión y estabilizadores térmicos. La adición de Si en las películas de TiZrN ayuda a aumentar la dureza y la estabilidad térmica del recubrimiento base. En este trabajo, películas delgadas de (Ti-Zr-Si)N fueron depositadas sobre la aleación de Ti6Al4V mediante la técnica de co-sputtering utilizando blancos de Ti5Si2 y Zr. La síntesis de los recubrimientos se realizó variando la potencia de descarga en la fuente RF encargada del blanco de Ti5Si2 a 130W, 150W y 170W, así como una variación en la temperatura de depósito a temperatura ambiente, 130° y 260°C. Los recubrimientos fueron caracterizados por medio de difracción de rayos X (XRD), donde se evidencia la formación de la fase que pertenece a la solución sólida (Zr,Ti)N, microscopía electrónica de barrido (SEM), espectroscopia UV-Vis y ensayos de dureza y pin-on-disc. El espesor fue medido a través de interferometría con valores entre 662 y 481nm para los recubrimientos depositados. De acuerdo con el mecanismo de falla en el ensayo de rayado, los mejores resultados obtenidos se dieron para una potencia de 170W y 260°C con una falla cohesiva L c1=2.1N y una falla adhesiva L c2=4.7N.

: (Ti-Zr-Si)N; Ti6Al4V; Recubrimientos; Co-sputtering; Nanoestructuras.

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