Resumen

ADAMES, R. P; SEGURA, J. A; GOMEZ, D.P  y  ARDILA, A. M. Fabricación y caracterización de películas delgadas de Alq₃. ing.cienc. [online]. 2014, vol.10, n.20, pp.37-50. ISSN 1794-9165.

Películas delgadas de Alq₃ (tris (8-hidroxiquinolato) de aluminio) se depositaron sobre vidrio mediante evaporación térmica con el fin de establecer las tasas de evaporación óptimas para depositar películas entre 30 a 120 nm sobre un sustrato a temperaturas entre 60 y 120°C. Las películas fueron caracterizadas mediante microscopía SEM y perfilometría para comparar el espesor obtenido in-situ mediante un cristal de cuarzo; adicionalmente se realizaron medidas de fotoluminiscencia.

Palabras clave : película delgada; evaporación térmica; sustrato; caracterización; semiconductor orgánico.

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