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Revista Facultad de Ingeniería Universidad de Antioquia
versión impresa ISSN 0120-6230versión On-line ISSN 2422-2844
Resumen
QUESADA, Franz y MARINO, Álvaro. Recubrimientos de TiAlN sobre acero ASTM A36 por el proceso de sputtering reactivo RF. Rev.fac.ing.univ. Antioquia [online]. 2006, n.37, pp.107-114. ISSN 0120-6230.
Películas de TiAlN fueron depositadas sobre acero ASTM A36 por el proceso de sputtering reactivo RF utilizando un blanco en polvo con composición TiAl (60/40%), en el proceso se utilizaron dos relaciones de presión (PN/PTotal), 0,05 y 0,1, manteniendo constante la presión de argón. Las películas se depositaron sobre probetas en estado de suministro, templadas y revenidas, nitruradas por plasma, con recubrimientos previos de Ti y TiN a una temperatura de 230 oC. Las películas presentaron una composición Ti0.4Al0.6N con orientación preferencial (200); las mejores propiedades de dureza, resistencia a la corrosión, resistencia al desgaste fueron con la relación de presión de 0,1 y la mayor adherencia con la relación de presión de 0,05. La máxima dureza fue de 2500 HK.
Palabras clave : películas de TiAlN; sputtering reactivo R.F.