Serviços Personalizados
Journal
Artigo
Indicadores
- Citado por SciELO
- Acessos
Links relacionados
- Citado por Google
- Similares em SciELO
- Similares em Google
Compartilhar
Revista de la Academia Colombiana de Ciencias Exactas, Físicas y Naturales
versão impressa ISSN 0370-3908
Resumo
PIRATOBA MORALES, Ulises; MARINO CAMARGO, Álvaro e OLAYA FLOREZ, Jhon Jairo. MAGNETRÓN DESBALANCEADO: CONFIGURACIÓN DEL CAMPO MAGNÉTICO Y SU CORRELACIÓN CON EL CAMPO DE 2 ESPIRAS CONCÉNTRICAS . Rev. acad. colomb. cienc. exact. fis. nat. [online]. 2012, vol.36, n.138, pp.37-44. ISSN 0370-3908.
Los magnetrones desbalanceados son cada vez más usados en investigación, tecnología y aplicaciones industriales, particularmente aquellas relacionadas con procesos de deposición física de vapor (PVD) usados en el crecimiento de películas delgadas (Marulanda et al., 2011; Olaya et al., 2011) Estas películas tienen amplias aplicaciones como recubrimientos duros, ópticos, decorativos y electrónicos. El empleo de dichos magnetrones, permite incrementar significativamente las velocidades de crecimiento de las películas y la eficiencia de los procesos, mejorándose ostensiblemente la calidad de las películas obtenidas. En éste trabajo se midieron las componentes axial y radial de campos magnéticos generados por magnetrones desbalanceados con simetría axial; se encontró que el campo magnético de un magnetrón construido con un imán cilíndrico y otro anular, concéntricos, se correlaciona muy bien con el campo magnético generado por 2 espiras coplanares y concéntricas, cuyas corrientes circulan en sentidos opuestos. El campo magnético teórico fue calculado aplicando la ley de Biot Savart, y evaluado numéricamente con el programa MatLab.
Palavras-chave : magnetrón desbalanceado; UBMS; campo magnético.